Большая советская энциклопедия - ионно-сорбционный насос

Ионно-сорбционный насос, вакуумный насос, в котором химически активные газы удаляются за счет сорбции их геттерами, а инертные газы — в результате интенсивной ионизации в виде ионов под действием электрического поля. С помощью И.-с. н. достигают разрежения 10-7 н/м2 (10-9 мм рт. ст.).